Examinando por Autor "Lizárraga Maldonado, Alejandro"
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- PublicaciónEstudio y caracterización de películas delgadas basadas en silicio depositadas por sputtering con magnetrón RF(Universidad Autónoma de Baja California. Instituto de Ingeniería., 2015) Lizárraga Maldonado, Alejandro; Curiel Álvarez, Mario AlbertoEn el presente trabajo se estudian las propiedades de películas delgadas basadas en Silicio depositadas por medio de Espurreo con Magnetrón RF empleado Argón como gas de trabajo a diferentes presiones. Las películas obtenidas se analizaron por medio de Mi