Publicación: Estudio de las propiedades mecánicas de las películas delgadas de nitruro de tungsteno depositadas por ablación láser /
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Se prepararon una serie de películas delgadas de nitruro de tungsteno (WNx) por medio de la técnica de ablación láser sobre sustratos de silicio (111) para el crecimiento de la película se utilizó un blanco de tungsteno colocado en un ambiente de nitrógen
Palabras clave
Películas delgadas, Física Tesis