Publicación: Síntesis y caracterización de las propiedades ópticas y morfológicas de multicapas ultradelgadas de Al2O3/ZnO crecidas por la técnica de Depósito por Capa Atómica
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2016
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Resumen
En este trabajo de investigación se realizó el estudio de las propiedades ópticas y morfológicas de multicapas ultradelgadas crecidas por la técnica de Depósito por Capa Atómica (ALD, por sus siglas en inglés Atomic Layer Deposition) a partir de óxidos me