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Caracterización estructural y por espectroscopías elipsométrica y raman de películas delgadas para aplicaciones en la industria semiconductora

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dc.contributor.authorHerrera García, Jesús Rigoberto
dc.contributor.directorRadnev Nedev, Nicola
dc.contributor.directorCuriel Álvarez, Mario Alberto
dc.coverage.placeofpublicationMexicali, Baja California
dc.date.accessioned2021-05-22T04:20:11Z
dc.date.available2021-05-22T04:20:11Z
dc.date.issued2015
dc.degree.deparmentUniversidad Autónoma de Baja California, Instituto de Ingeniería, Mexicali
dc.degree.grantorTesis de Doctorado
dc.degree.nameMaestría y Doctorado en Ciencias e Ingeniería.
dc.description.abstractLa industria microelectrónica es una de las más generosas del mercado actual. No sólo por que se han desarrollado instrumentos, aparatos y dispositivos de alta tecnología, sino porque el diseño de ellos conlleva a un análisis teórico muy interesante, sobr
dc.format.extent1 recurso en línea (132 p. : il., gráficas)
dc.format.mimetypepdf
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.12930/1579
dc.language.isospa
dc.publisherUniversidad Autónoma de Baja California. Instituto de Ingeniería.
dc.relation.urihttps://drive.google.com/file/d/0B7AGEh5aIwoTS3lSdGJhTmN4ZDg/view?usp=sharing
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0
dc.subjectSemiconductores de películas delgadas Tesis y disertaciones académicas
dc.subject.lccTK7871.15.F5 H47 2015
dc.subject.lembSemiconductores Tesis y disertaciones académicas
dc.subject.lembMicroelectrónica Tesis y disertaciones académicas
dc.titleCaracterización estructural y por espectroscopías elipsométrica y raman de películas delgadas para aplicaciones en la industria semiconductora
dc.uabc.bibliographycNoteIncluye referencias bibliográficas.
dc.uabc.bilbiotecaMEXICALI
dc.uabc.identifier208536
dc.uabc.numInventarioMXL117884
dc.uabc.typeMaterialTESIS
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