Fabricación de capacitores MIM de Al2O3 y YSZ por la técnica de depósito por capa atómica

Publicación:
Fabricación de capacitores MIM de Al2O3 y YSZ por la técnica de depósito por capa atómica

dc.contributor.author	Alvarez Villa, Lizeth
dc.contributor.director	Tiznado Vázquez, Hugo J
dc.contributor.director	Vargas Viveros, Eunice
dc.coverage.placeofpublication	Ensenada, Baja California
dc.date.accessioned	2021-05-22T03:56:11Z
dc.date.available	2021-05-22T03:56:11Z
dc.date.issued	2018
dc.degree.deparment	Universidad Autónoma de Baja California, Facultad de Ingeniería, Arquitectura y Diseño, Ensenada
dc.degree.grantor	Tesis de Licenciatura
dc.description.abstract	En el presente trabajo de tesis se realizó la fabricación y la caracterización eléctrica de capacitores tipo metal-aislante-metal o MIM (por sus siglas en Inglés). Los capacitores fueron fabricados con películas dieléctricas de 50 nm, de los materiales ci
dc.format.extent	1 recurso en línea viii, 46 p. : il.
dc.format.mimetype	pdf
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/20.500.12930/542
dc.language.iso	spa
dc.relation.uri	https://drive.google.com/file/d/1OI4c7z0-f7hqFAAZnhxexpqoaVvK7GY6/view?usp=sharing
dc.rights.uri	http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0
dc.subject.lcc	QC378 A58 2018
dc.subject.lemb	Ingeniería Tesis y disertaciones académicas Películas delgadas
dc.title	Fabricación de capacitores MIM de Al2O3 y YSZ por la técnica de depósito por capa atómica
dc.uabc.bibliographycNote	Incluiye referencias bibliográfica
dc.uabc.bilbioteca	ENSENADA
dc.uabc.identifier	232329
dc.uabc.numInventario	ENS089090
dc.uabc.typeMaterial	TESIS
dcterms.accessRights	openAccess
dspace.entity.type	Publication

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