Diseño y simulación de dispositivos MEMS basados en películas delgadas semiconductoras y aislantes nanoestructuradas

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dc.contributor.authorGarcía Gallegos, Alan Alejandro
dc.contributor.codirectorRadnev Nedev Nicola
dc.contributor.directorPérez Landeros Oscar Manuel
dc.coverage.placeofpublicationMexicali, Baja California.
dc.date.accessioned2024-10-27T01:02:37Z
dc.date.available2024-10-27T01:02:37Z
dc.date.created2024
dc.degree.deparmentUniversidad Autónoma de Baja California, Instituto de Ingeniería
dc.degree.grantorTesis de Maestría / master Thesis.
dc.degree.nameMaestría en Ingeniería
dc.format.extent80 p.
dc.format.mimetypepdf
dc.identifier.urihttps://repositorioinstitucional.uabc.mx/handle/20.500.12930/11919
dc.identifier.urihttps://doi.org/10.57840/uabc-1509
dc.language.isospa
dc.publisherUniversidad Autónoma de Baja California.
dc.relation.urlhttps://drivegooglecom/file/d/1BeKnVN5_cZdIH_gElod_nkAjWJ33ZH6y/view?usp=sharing
dc.rightsopenAccess
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4
dc.subjectSistemas microelectromecánicos||Tesis y disertaciones académicas||Sistemas microelectromecánicos: diseño y construcción||Tesis y disertaciones académicas||Sistemas microelectromecánicos: modelos matemáticos||Tesis y disertaciones académicas.
dc.subject.lccTK7875 G37 2024
dc.titleDiseño y simulación de dispositivos MEMS basados en películas delgadas semiconductoras y aislantes nanoestructuradas
dc.uabc.bibliographycNoteIncluye referencias bibliográficas.
dc.uabc.bilbiotecaMEXICALI
dc.uabc.identifier268308
dc.uabc.numInventarioMXL125102
dc.uabc.typeMaterialTESIS
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