Diseño y construcción de un sistema para síntesis de películas ultra delgadas por medio de la técnica de depósito por capa atómica

Abstract

Se diseñó, construyó y se verificó el correcto funcionamiento un sistema de "depósito de capa atómica" (ALD) con el propósito de reducir los costos del sistema, en comparación de los sistemas actuales en la industria. El diseño se realizó en Solidworks u