Diseño y construcción de un sistema para síntesis de películas ultra delgadas por medio de la técnica de depósito por capa atómica

Publicación:
Diseño y construcción de un sistema para síntesis de películas ultra delgadas por medio de la técnica de depósito por capa atómica

dc.contributor.author	Jurado González, Jorge Adolfo
dc.contributor.director	Tiznado Vázquez, Hugo
dc.contributor.director	Muñoz Muñoz, Franklin
dc.coverage.placeofpublication	Ensenada, Baja California
dc.date.accessioned	2021-05-22T03:55:33Z
dc.date.available	2021-05-22T03:55:33Z
dc.date.issued	2016
dc.degree.deparment	Universidad Autónoma de Baja California, Facultad de Ingeniería, Arquitectura y Diseño, Ensenada
dc.degree.grantor	Tesis de Licenciatura
dc.description.abstract	Se diseñó, construyó y se verificó el correcto funcionamiento un sistema de "depósito de capa atómica" (ALD) con el propósito de reducir los costos del sistema, en comparación de los sistemas actuales en la industria. El diseño se realizó en Solidworks u
dc.format.extent	1 recurso en línea 45 p. : il.
dc.format.mimetype	pdf
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/20.500.12930/502
dc.language.iso	spa
dc.relation.uri	https://drive.google.com/file/d/0ByZyFBRL67c0eE9ZYXZSVkJnZEU/view?usp=sharing
dc.rights.uri	http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0
dc.subject	Ingeniería Tesis y disertaciones académicas
dc.subject.lcc	QC378 J87 2016
dc.title	Diseño y construcción de un sistema para síntesis de películas ultra delgadas por medio de la técnica de depósito por capa atómica
dc.uabc.bibliographycNote	Incluye referencias bibliográficas.
dc.uabc.bilbioteca	ENSENADA
dc.uabc.identifier	221085
dc.uabc.numInventario	ENS084711
dc.uabc.typeMaterial	TESIS
dcterms.accessRights	openAccess
dspace.entity.type	Publication

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