Publicación: Síntesis y caracterización de bicapa de Cr2O3-Cr para su aplicación en la fabricación de fotomáscaras
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En este trabajo de tesis, se llevó a cabo la síntesis de películas delgadas de óxido de cromo (III) sobre cromo (Cr2O3/Cr) en sustratos de vidrio y soda-lime, por el método de erosión iónica reactiva DC, para la fabricación de fotomáscaras con aplicación
Palabras clave
Ingeniería Tesis y disertaciones académicas, Fotolitografía