Síntesis y caracterización de bicapa de Cr2O3-Cr para su aplicación en la fabricación de fotomáscaras

Publicación:
Síntesis y caracterización de bicapa de Cr2O3-Cr para su aplicación en la fabricación de fotomáscaras

dc.contributor.author	Márquez Sández, Alicia
dc.contributor.director	Muñoz Muñoz, Franklin David
dc.coverage.placeofpublication	Ensenada, Baja California
dc.date.accessioned	2021-05-22T03:55:51Z
dc.date.available	2021-05-22T03:55:51Z
dc.date.issued	2019
dc.degree.deparment	Universidad Autónoma de Baja California, Facultad de Ingeniería, Arquitectura y Diseño, Ensenada
dc.degree.grantor	Tesis de Licenciatura
dc.description.abstract	En este trabajo de tesis, se llevó a cabo la síntesis de películas delgadas de óxido de cromo (III) sobre cromo (Cr2O3/Cr) en sustratos de vidrio y soda-lime, por el método de erosión iónica reactiva DC, para la fabricación de fotomáscaras con aplicación
dc.format.extent	1 recurso en línea xi, 72 p. : il.
dc.format.mimetype	pdf
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/20.500.12930/517
dc.language.iso	spa
dc.relation.uri	https://drive.google.com/file/d/19qvz-DsUw9yjQXz5vOMvvuqKEKqAmc4m/view?usp=sharing
dc.rights.uri	http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0
dc.subject	Ingeniería Tesis y disertaciones académicas
dc.subject	Fotolitografía
dc.subject.lcc	TR940 M37 2019
dc.title	Síntesis y caracterización de bicapa de Cr2O3-Cr para su aplicación en la fabricación de fotomáscaras
dc.uabc.bibliographycNote	Incluye referencias bibliográficas e índice
dc.uabc.bilbioteca	ENSENADA
dc.uabc.identifier	236507
dc.uabc.numInventario	ENS090725
dc.uabc.typeMaterial	TESIS
dcterms.accessRights	openAccess
dspace.entity.type	Publication

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