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Sistema de control para la realización de nanolitografía mediante microscopía de fuerza atómica

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dc.contributor.authorPont de la Torre, Ulises Augusto
dc.contributor.directorMurillo Bracamontes, Eduardo Antonio
dc.contributor.directorMartínez Rosas, Miguel Enrique
dc.coverage.placeofpublicationEnsenada, Baja California
dc.date.accessioned2021-05-22T03:56:20Z
dc.date.available2021-05-22T03:56:20Z
dc.date.issued2017
dc.degree.deparmentUniversidad Autónoma de Baja California, Facultad de Ingeniería, Arquitectura y Diseño, Ensenada
dc.degree.grantorTesis de Licenciatura
dc.description.abstractEl presente trabajo tiene como objetivo implementar un sistema que permitarealizar litografía ferroeléctrica a escala nanométrica en el microscopio de barrido por sonda (SPM, por sus siglas en inglés) modelo XE-70 de la compañía Park Systems. Para lograr
dc.format.extent1 recurso en línea, 39 p. : il.
dc.format.mimetypepdf
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.12930/553
dc.language.isospa
dc.relation.urihttps://drive.google.com/file/d/1xeU1lngVFn5VgLbbdJnvuadEeVy-1FYt/view?usp=sharing
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0
dc.subjectNanolitografía
dc.subjectIngeniería
dc.subjectTesis y disertaciones académicas
dc.subject.lccTK7874.843 P65 2017
dc.titleSistema de control para la realización de nanolitografía mediante microscopía de fuerza atómica
dc.uabc.bibliographycNoteIncluye referencias bibliográfica.
dc.uabc.bilbiotecaENSENADA
dc.uabc.identifier224580
dc.uabc.numInventarioENS087262
dc.uabc.typeMaterialTESIS
dcterms.accessRightsopenAccess
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