Publicación: Sistema de control para la realización de nanolitografía mediante microscopía de fuerza atómica
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El presente trabajo tiene como objetivo implementar un sistema que permitarealizar litografía ferroeléctrica a escala nanométrica en el microscopio de barrido por sonda (SPM, por sus siglas en inglés) modelo XE-70 de la compañía Park Systems. Para lograr
Palabras clave
Nanolitografía, Ingeniería, Tesis y disertaciones académicas