Publicación: Caracterización eléctrica y óptica de estructuras metal-óxido-semiconductor con emsambles de nanopartículas semiconductoras
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Universidad Autónoma de Baja California. Instituto de Ingeniería.
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Abstract
El objetivo principal de este trabajo es la fabricación y caracterización de estructuras Metal-Óxido-Semiconductor (MOS) con una compuerta dieléctrica que contiene nanoclusters de silicio cristalino y/o amorfo auto-ensambladas (Si NCs) dentro de una matri