Síntesis y caracterización de óxido de níquel nanoestructurado para aplicaciones en MEMS
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Universidad Autónoma de Baja California.
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Abstract
El presente trabajo de investigación aborda la síntesis y caracterización de: 1) películas delgadas de níquel (Ni), posteriormente oxidadas, 2) nanopartículas (NPs) de níquel, posteriormente oxidadas, y 3) estructuras basadas en NPs de óxido de níquel (NiOx) embebidas en películas de NiOx depositadas por sputtering. El objetivo principal fue evaluar cómo las condiciones de deposición y oxidación afectan las propiedades estructurales, morfológicas y ópticas del NiOx. Las películas y NPs de NiOx fueron depositadas sobre silicio y cuarzo para caracterizar sus propiedades ópticas, estructurales y eléctricas.
Palabras clave
Aleaciones de níquel||Tesis y disertaciones académicas||lemb||Dispositivos electromecánicos||Tesis y disertaciones académicas||lemb||Semiconductores de metal-óxido||Tesis y disertaciones académicas||lemb