Estadísticas de Obtención de los parámetros en el análisis de los blancos de Si-Al para la deposición de películas delgadas de SiAlON mediante la técnica de sputtering para aplicaciones aeroespaciales /

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Obtención de los parámetros en el análisis de los blancos de Si-Al para la deposición de películas delgadas de SiAlON mediante la técnica de sputtering para aplicaciones aeroespaciales / 6

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