Diseño y simulación de dispositivos MEMS basados en películas delgadas semiconductoras y aislantes nanoestructuradas
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Universidad Autónoma de Baja California.
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Abstract
Palabras clave
Sistemas microelectromecánicos||Tesis y disertaciones académicas||Sistemas microelectromecánicos: diseño y construcción||Tesis y disertaciones académicas||Sistemas microelectromecánicos: modelos matemáticos||Tesis y disertaciones académicas.