Fabricación y caracterización de fotodetectores flexibles de radiación ultravioleta basados en nanopolvos y películas delgadas de óxido de zinc

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Universidad Autónoma de Baja California.
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RESUMEN En este trabajo se fabricaron y caracterizaron distintos dispositivos fotodetectores de radiación ultravioleta (UV) basados en óxido de zinc (ZnO). Los dispositivos fueron evaluados eléctricamente para analizar su desempeño ante la radiación UV y diferentes longitudes de onda visibles, así como la influencia del método de fabricación, la morfología del material semiconductor, el material de los contactos metálicos y su geometría. Las rutas de fabricación se orientaron al desarrollo de fotodetectores mecánicamente flexibles, para ello, se emplearon nanopolvos de ZnO encapsulados en polímeros, películas delgadas depositadas sobre un sustrato flexible y configuraciones que combinan nanopolvos con películas delgadas sobre sustratos flexibles. Los dispositivos se fabricaron mediante la combinación de técnicas accesibles, como la síntesis de nanopolvos de ZnO por coprecipitación y el termolaminado como técnica de encapsulamiento, así como de técnicas y procesos más controlados, entre ellos la pulverización catódica para el depósito de películas delgadas y la fotolitografía de escritura directa para la definición de diferentes estructuras. Adicionalmente, se analizaron distintas configuraciones de contactos metálicos, variando tanto el material (cobre, aluminio y óxido de plata) como la geometría, con el objetivo de estudiar su impacto en la respuesta eléctrica y mejorar la eficiencia de los dispositivos. También se exploraron diferentes técnicas de caracterización estructural, composicional y óptica para la evaluación del nanopolvo de ZnO, entre las técnicas utilizadas destacan SEM, EDS, XRD, FTIR y UV-Vis, con el objetivo de obtener información sobre la calidad y características del material semiconductor sintetizado. Asimismo, se realizaron mediciones eléctricas a los dispositivos fabricados para analizar la respuesta de la corriente ante determinadas condiciones, permitiendo la obtención de parámetros como la fotocorriente generada, respuesta temporal, selectividad espectral, relación de rechazo y relación de rectificación Los resultados muestran que los dispositivos fabricados presentan una respuesta frente a la radiación UV y que su desempeño se ve influenciado por la morfología del material semiconductor, así como por el material y diseño de los contactos interdigitados. En general, v se observó la presencia de fotoconductividad persistente en todos los dispositivos, lo cual afecta en la estabilidad de la corriente y limita la determinación de una corriente base inicial. Finalmente, esta investigación demuestra la viabilidad de combinar técnicas como la fotolitografía de escritura directa con la deposición de nanopolvos de ZnO mediante métodos sencillos. Los resultados definen el inicio del desarrollo de futuras técnicas y combinaciones de procesos de fabricación para el desarrollo de dispositivos semiconductores flexibles.
Palabras clave
Dispositivos optoelectrónicos||Tesis y disertaciones académicas||lemb||Óxido de zinc Semiconductores||lemb||Fotodetectores||Nanopolvos||Tesis
Citación
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