Publicación: Deposición y caracterización de películas de Siox para aplicaciones en dispositivos electrónicos
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Universidad Autónoma de Baja California. Instituto de Ingeniería
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Abstract
Las estructuras (Metal-Oxido-Semiconductor) MOS con un óxido de silicio han sido ampliamente estudiadas porque son la base de las tecnologías actuales de industria semiconductora. En este proyecto de investigación se estudiaron con un enfoque en aplica
Palabras clave
Tesis y disertaciones académicas, Materiales