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Obtención de los parámetros en el análisis de los blancos de Si-Al para la deposición de películas delgadas de SiAlON mediante la técnica de sputtering para aplicaciones aeroespaciales /

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dc.contributor.authorPasten Espinoza, Raúl
dc.coverage.placeofpublicationTijuana, Baja California
dc.date.accessioned2021-05-23T01:56:43Z
dc.date.available2021-05-23T01:56:43Z
dc.date.issued2017
dc.degree.deparmentUniversidad Autónoma de Baja California, Escuela de Ciencias de la Ingeniería y Tecnología, Tijuana, B.C
dc.degree.grantorTesis de Licenciatura
dc.degree.nameTitulo de Ingeniero Aeroespacial.
dc.format.extentRecurso en línea.
dc.format.mimetypepdf
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.12930/4989
dc.language.isospa
dc.relation.urihttps://drive.google.com/open?id=1jLVDOPLVBPmhhoA-WQi18LGpUssFe-Qy
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0
dc.subjectAeroespacial
dc.subject.lccTK7874 P38 2017
dc.titleObtención de los parámetros en el análisis de los blancos de Si-Al para la deposición de películas delgadas de SiAlON mediante la técnica de sputtering para aplicaciones aeroespaciales /
dc.uabc.bibliographycNoteIncluye referencias bibliográficas.
dc.uabc.bilbiotecaVPALMAS
dc.uabc.identifier229299
dc.uabc.numInventarioPAL016450
dc.uabc.typeMaterialTESIS
dcterms.accessRightsopenAccess
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