Diseño y simulación de nanoestructuras basadas en silicio para aplicaciones en MEMS /

Abstract

La presente tesis se enfoca en el estudio del diseño y simulación de sistemas microelectromecánicos MEMS (“Micro Electro Mechanical Systems” por sus siglas en inglés) y dispositivos de microfluidos utilizando diferentes softwares de la familia Ansys. Estas herramientas son muy útiles para la optimización de los sistemas estudiados y los procesos de fabricación. De hecho, poder simular un dispositivo electrónico permite resolver problemas antes de que surjan y sirve para ahorrar recursos y tiempo durante los procesos de fabricación. A lo largo de este proyecto se realizaron modelos y simulaciones de micro/nanoestructuras basadas en silicio para aplicaciones en MEMS como son cantilévers simples, cantilévers con películas metálicas, y cantilévers reforzadas con nanofibras (NF) de carbono, acero y cobre con el propósito de comparar resultados y modular sus frecuencias naturales. También se realizaron modelos y simulaciones de dispositivos de microfluídica como separadores de partículas, mezcladores de flujos, disipadores de calor, generadores de gotas, con el propósito de estudiar el comportamiento de fluidos de una o más fases.