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Diseño y simulación de nanoestructuras basadas en silicio para aplicaciones en MEMS /

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dc.contributor.authorMagaña Cabanillas, Luis Humberto
dc.contributor.codirectorRadnev Nedev, Nicola
dc.contributor.directorPérez Landeros, Oscar Manuel
dc.coverage.placeofpublicationMexicali, Baja California.
dc.date.accessioned2023-02-24T03:01:10Z
dc.date.available2023-02-24T03:01:10Z
dc.date.created2023
dc.degree.deparmentUniversidad Autónoma de Baja California, Instituto de Ingeniería, Mexicali.
dc.degree.grantorTesis de Maestría / master Thesis.
dc.degree.nameMaestría y Doctorado en Ciencias e Ingeniería
dc.description.abstractLa presente tesis se enfoca en el estudio del diseño y simulación de sistemas microelectromecánicos MEMS (“Micro Electro Mechanical Systems” por sus siglas en inglés) y dispositivos de microfluidos utilizando diferentes softwares de la familia Ansys. Estas herramientas son muy útiles para la optimización de los sistemas estudiados y los procesos de fabricación. De hecho, poder simular un dispositivo electrónico permite resolver problemas antes de que surjan y sirve para ahorrar recursos y tiempo durante los procesos de fabricación. A lo largo de este proyecto se realizaron modelos y simulaciones de micro/nanoestructuras basadas en silicio para aplicaciones en MEMS como son cantilévers simples, cantilévers con películas metálicas, y cantilévers reforzadas con nanofibras (NF) de carbono, acero y cobre con el propósito de comparar resultados y modular sus frecuencias naturales. También se realizaron modelos y simulaciones de dispositivos de microfluídica como separadores de partículas, mezcladores de flujos, disipadores de calor, generadores de gotas, con el propósito de estudiar el comportamiento de fluidos de una o más fases.
dc.format.extent74 p.
dc.format.mimetypepdf
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.12930/10234
dc.identifier.urihttps://doi.org/10.57840/uabc-816
dc.language.isospa
dc.publisherUniversidad Autónoma de Baja California, Mexicali.
dc.relation.urlhttps://drive.google.com/file/d/15B8asjr45nAssU6Q0l4evFknUDlQSl4I/view?usp=sharelink
dc.rightsopenAccess
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4
dc.subjectSistemas microelectromecánicos:
dc.subjectDiseño y construcción
dc.subjectTesis y disertaciones académicas
dc.subject.lccTK7875 M33 2023
dc.titleDiseño y simulación de nanoestructuras basadas en silicio para aplicaciones en MEMS /
dc.uabc.bibliographycNoteIncluye referencias bibliográficas
dc.uabc.bilbiotecaMEXICALI
dc.uabc.identifier252442
dc.uabc.numInventarioMXL123772
dc.uabc.typeMaterialTESIS
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