Publicación: Estudio y caracterización de películas delgadas basadas en silicio depositadas por sputtering con magnetrón RF
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Fecha
2015
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Editor
Universidad Autónoma de Baja California. Instituto de Ingeniería.
Resumen
En el presente trabajo se estudian las propiedades de películas delgadas basadas en Silicio depositadas por medio de Espurreo con Magnetrón RF empleado Argón como gas de trabajo a diferentes presiones. Las películas obtenidas se analizaron por medio de Mi
Descripción
Palabras clave
Pulverización catódica magnetrón Tesis y disertaciones académicas