Diseño y construcción de un sistema de depósito por capas atómicas para la obtención de películas delgadas semiconductoras y aislantes

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dc.contributor.authorNavarro Rodríguez, Jackeline
dc.contributor.directorMateos Anzaldo, Francisco David
dc.coverage.placeofpublicationMexicali, Baja California.
dc.date.accessioned2026-04-19T21:51:28Z
dc.date.available2026-04-19T21:51:28Z
dc.date.created2025
dc.degree.deparmentUniversidad Autónoma de Baja California, Instituto de Ingeniería, Mexicali.
dc.degree.grantorTesis de Maestría / master Thesis.
dc.degree.nameMaestría en Licenciatura.
dc.description.abstractLa industria de semiconductores exige constantemente nuevas alternativas para obtener materiales con propiedades superiores, fundamentales para el desarrollo de la electrónica moderna. En respuesta a esta demanda, el presente proyecto de investigación se centró en el diseño y construcción de un sistema de depósito por capas atómicas (ALD, por sus siglas en inglés “Atomic Layer Deposition”), que permite la deposición de películas semiconductoras y aislantes de espesor nanométrico a bajas temperaturas, mediante el uso de precursores en fase gaseosa. La técnica de ALD ofrece ventajas significativas, tales como: control preciso del espesor, capacidad para generar multicapas, uniformidad excepcional y recubrimiento conformal sobre estructuras tridimensionales con alta relación de aspecto.
dc.format.extentRecurso en línea, 90 p.
dc.format.mimetypepdf
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.12930/13762
dc.language.isospa
dc.publisherUniversidad Autónoma de Baja California.
dc.relation.urlhttps://drive.google.com/file/d/1b1DoiE1vdnzmfRBpdTdq5ERujJMmAF8T/view?usp=sharing
dc.rightsopenAccess
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4
dc.subjectPelículas ópticas||Tesis y disertaciones académicas||lemb||Capas atómicas||Diseño y construcción||Tesis y disertaciones académicas.
dc.subject.lccQC378 N38 2025
dc.titleDiseño y construcción de un sistema de depósito por capas atómicas para la obtención de películas delgadas semiconductoras y aislantes
dc.uabc.bibliographycNoteIncluye referencias bibliográficas.
dc.uabc.bilbiotecaMEXICALI
dc.uabc.identifier279584
dc.uabc.numInventarioMXL125736
dc.uabc.typeMaterialTESIS
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